本發(fā)明屬于可見(jiàn)光探測(cè)器的技術(shù)領(lǐng)域,公開(kāi)了一種Mg摻雜增強(qiáng)過(guò)渡金屬硫化物基可見(jiàn)光探測(cè)器及其制備方法。所述可見(jiàn)光探測(cè)器包括從下至上依次設(shè)置的Si襯底層、InGaN層、Mg摻雜的過(guò)渡金屬硫化物層和電極層。Mg摻雜的過(guò)渡金屬硫化物層部分覆蓋InGaN層。本發(fā)明還公開(kāi)了可見(jiàn)光探測(cè)器的制備方法。本發(fā)明在InGaN表面部分沉積Mg金屬層,利用化學(xué)氣相沉積制備Mg摻雜TMDs層,引入大量的受主能級(jí),實(shí)現(xiàn)了TMDs的p型摻雜,調(diào)控了載流子濃度。調(diào)控后的載流子優(yōu)化了材料與電極間勢(shì)壘高度,降低了暗電流,增強(qiáng)了整流比,提升了器件的響應(yīng)速度,對(duì)于實(shí)現(xiàn)高性能、高靈敏的可見(jiàn)光通信用光電探測(cè)器具有重要意義。
聲明:
“Mg摻雜增強(qiáng)過(guò)渡金屬硫化物基可見(jiàn)光探測(cè)器及其制備方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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