本發(fā)明屬于計量測試技術(shù)領(lǐng)域,涉及化學(xué)成分量測試技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明涉及的鋁鎵氮晶片外延層中鋁元素含量的試驗方法,采用熔融的氫氧化鈉對鋁鎵氮晶片外延層多次刻蝕,刻蝕掉的樣品經(jīng)過鹽酸中和,形成鋁元素的強(qiáng)酸性溶液,采用分光光度法測定刻蝕液的鋁元素與鉻天青S顯色溶液546nm處的吸光度,通過標(biāo)準(zhǔn)溶液吸光度與鋁元素濃度的關(guān)系可以得到樣品溶液的鋁元素濃度,再根據(jù)測定的鋁元素的濃度獲得晶片外延層中鋁元素的含量;通過深紫外光致發(fā)光光譜儀測量刻蝕面熒光峰出現(xiàn)的位置控制刻蝕深度。重復(fù)測量的標(biāo)準(zhǔn)偏差大約為1%,加標(biāo)回收率大于95%。適用于鋁鎵氮晶片外延層中鋁元素含量的準(zhǔn)確測試。
聲明:
“鋁鎵氮晶片外延層中鋁元素含量的測試方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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