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行星轉動鍍膜裝置的均勻性模擬和測試方法

758 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 07:28:48

本發(fā)明涉及光學鍍膜技術領域，尤其是一種行星轉動鍍膜裝置的均勻性模擬和測試方法，該方法在已知蒸發(fā)源和行星夾具結構的條件下，可實現(xiàn)對真空鍍膜均勻性的準確模擬，以及對鍍膜均勻性的快速優(yōu)化。將蒸發(fā)源視作具有一定傾斜角度的大口徑平面靶，膜料通過物理或化學氣相沉積，在平面行星夾具的基底材料表面形成薄膜，首先測試夾具在任一高度下的鍍膜均勻性，再通過模擬計算來確定蒸發(fā)源的蒸發(fā)特性，進而以模擬方法來確定出夾具的最佳位置，最后按模擬的最佳位置對均勻性進行第二次實際測試。該方法避免了在鍍膜均勻性測試過程中反復多次調節(jié)結構位置，僅需根據(jù)模擬和計算，便能確定鍍膜均勻性的最佳位置，具有簡便快捷、操作性強的優(yōu)點。

聲明：

“行星轉動鍍膜裝置的均勻性模擬和測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)