本發(fā)明涉及一種原位非接觸探測金屬有機物化學氣相沉積(MOCVD)石墨溫度分布的方法。該方法是利用數(shù)碼相機對石墨進行拍攝,并根據(jù)需要在相機鏡頭前加濾光鏡,然后利用電腦讀取所拍攝的圖像中的數(shù)據(jù)文件,根據(jù)文件所記錄的構(gòu)成每個象素點的三基色(紅、綠、藍)分量值的大小來確定石墨的溫度分布特性。該方法不僅成本低、溫度分辨率和空間分辨率很高,而且多點同時測量,測量速度快,可以進行數(shù)字處理、記錄和保存。
聲明:
“原位非接觸探測MOCVD石墨溫度分布的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)