本發(fā)明公開了一種基于藍寶石襯底的寬波段薄膜型光電探測器的制備方法。其中包括:襯底的清洗,薄膜的生長,電極的制備。其特征在于采用濕化學法制備Mn-Co-Ni-O薄膜,選取醋酸錳、醋酸鈷、醋酸鎳為原料,以冰醋酸作溶劑,分別配制導電類型是n和p的前驅體溶液,然后使用勻膠機和快速退火爐來制備薄膜材料。采用本方法制備的探測器可以實現(xiàn)紫外-可見-紅外寬波段探測。
聲明:
“基于寶石襯底的寬波段薄膜型光電探測器的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)