本實用新型公開了一種帶流體壓力測試功能的不銹鋼CMP裝置,涉及化學(xué)機械拋光技術(shù)領(lǐng)域,它包括拋光輥電機、拋光輥、矩形拋光液噴頭、電機支撐板、軌道、中空拋光帶、液壓升降裝置、絲杠、聯(lián)軸器、絲杠電機、流體壓力傳感器;本實用新型可以實時測試不銹鋼帶不同位置的流體壓力,同時也可以單獨測試不同拋光壓力下、不同拋光速度以及不同流量拋光液等情況下的流體壓力,拋光液輸送裝置采用矩形雙側(cè)噴頭,保證兩側(cè)的拋光輥上的拋光液進給量相同,提高了拋光的效率,從節(jié)省空間的方面考慮,拋光機機架采用立式機架,空間利用率高,同時保證了拋光質(zhì)量,大大降低加工成本,以滿足人們的基本要求,具有很好的實用價值。
聲明:
“帶流體壓力測試功能的不銹鋼CMP裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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