本發(fā)明公布了一種AlGaN基MSM結(jié)構(gòu)日盲型紫外探測(cè)器及制備方法,結(jié)構(gòu)包括圖形化藍(lán)寶石襯底、ZnO緩沖層、非故意摻雜Al
0.3Ga
0.7N光吸收層、第一Ni/Au叉指電極、第二Ni/Au叉指電極。AlGaN基MSM結(jié)構(gòu)日盲型紫外探測(cè)器制備方法包括:首先對(duì)圖形化藍(lán)寶石襯底進(jìn)行清洗,采用金屬有機(jī)物化學(xué)氣相淀積技術(shù)在圖形化藍(lán)寶石襯底上生長(zhǎng)獲得外延結(jié)構(gòu)ZnO緩沖層和非故意摻雜Al
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0.7N光吸收層,在非故意摻雜Al
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0.7N光吸收層和圖形化藍(lán)寶石襯底上均先后濺射金屬Ti層和Au層,最后整個(gè)器件在300℃的N
2氛圍中快速熱退火200s。本發(fā)明的有益效果:采用圖形化藍(lán)寶石襯底,相比普通的藍(lán)寶石襯底,可以降低外延層材料的位錯(cuò)密度,提高外量子效率;采用ZnO緩沖層技術(shù),可以獲得極低暗電流。
聲明:
“AlGaN基MSM結(jié)構(gòu)日盲型紫外探測(cè)器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)