本發(fā)明針對現(xiàn)有技術中在制備非制冷紅外探測器中的熱敏薄膜的過程中,PECVD方法的工藝窗口狹窄、形成熱敏薄膜的過程中易導致工藝波動的缺陷,提供了一種非晶硅熱敏薄膜的制備方法以及非制冷非晶硅微測輻射熱計的制備方法,能夠提供寬的工藝窗口并克服熱敏薄膜制備過程中的工藝波動。一種非晶硅熱敏薄膜的制備方法,該方法包括:將晶圓放入等離子增強化學氣相淀積反應腔中,對所述晶圓進行本征非晶硅薄膜淀積;對淀積后的本征非晶硅薄膜進行注入摻雜。
聲明:
“非晶硅熱敏薄膜及非制冷非晶硅微測輻射熱計的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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