亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 化學(xué)分析技術(shù)

> 具有石墨烯透明電極的碳化硅雪崩光電探測(cè)器

具有石墨烯透明電極的碳化硅雪崩光電探測(cè)器

901   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:29:08
一種具有石墨烯透明電極的碳化硅雪崩光電探測(cè)器,涉及半導(dǎo)體光電探測(cè)器。設(shè)有襯底,在襯底上依次設(shè)有同質(zhì)的第一N型外延緩沖層、N?型外延吸收層、第二N型外延倍增層和P+型歐姆接觸層;在P+型歐姆接觸層表面通過(guò)電熱分解法生長(zhǎng)的多層石墨烯透明電極層,采用光刻掩膜技術(shù)和ICP刻蝕工藝刻蝕一高度從石墨烯層表面到第一N型外延緩沖層表面,使得P+型歐姆接觸層、第二N型外延倍增層和N?型外延吸收層為圓臺(tái),通過(guò)等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法生長(zhǎng)一致密的SiOx/Si3N4保護(hù)鈍化層。在N+型襯底的背面濺射N型歐姆接觸電極,并在SiOx/Si3N4保護(hù)鈍化層上通過(guò)光刻工藝刻蝕出焊盤窗口并制備石墨烯透明電極層的焊盤。
聲明:
“具有石墨烯透明電極的碳化硅雪崩光電探測(cè)器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報(bào) 0
收藏 0
反對(duì) 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
化學(xué)分析
全國(guó)熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開(kāi)更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺(tái)微信公眾號(hào)
了解更多信息請(qǐng)您掃碼關(guān)注官方微信
中冶有色技術(shù)平臺(tái)微信公眾號(hào)中冶有色技術(shù)平臺(tái)

最新更新技術(shù)

報(bào)名參會(huì)
更多+

報(bào)告下載

第二屆中國(guó)微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會(huì)
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號(hào)

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記