本發(fā)明公開了一種拋光液落點(diǎn)測量裝置,其包括固定座、水平板和定位件,所述固定座用于可拆卸地設(shè)置于化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備的拋光盤的外周壁,所述水平板連接于所述固定座的頂部并朝拋光盤的中心延伸,所述定位件設(shè)置于所述固定座的側(cè)部并位于水平板之下;所述定位件的內(nèi)側(cè)壁為與拋光墊的外徑相匹配的圓弧結(jié)構(gòu);拋光液落至所述水平板的上表面,水平板的上表面設(shè)置有刻度線以量測拋光液的滴落位置;其中,所述水平板的上表面形成為親水或超親水表面,以防止滴落在其表面的拋光液形成液珠在慣性作用下移動。
聲明:
“拋光液落點(diǎn)測量裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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