基礎金屬	銅電解銅銅精礦銅管銅棒廢銅銅排銅合金精銅桿再生銅桿銅板帶鋁鋁土礦氧化鋁電解鋁鋁輔料鋁棒鋁合金錠廢鋁鋁桿鋁型材鋁板卷鉛鉛精礦鉛錠鉛蓄電池再生精鉛還原鉛廢鉛蓄電池鉛合金鋅鋅精礦電解鋅鋅合金氧化鋅鋅粉錫錫精礦錫錠錫材
稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
新能源	鋰鋰礦鋰化合物正極材料電芯金屬鋰鎳鎳礦鎳鐵精煉鎳鎳鹽三元前驅體材料高冰鎳 MHP 鈷電解鈷鈷粉氯化鈷四氧化三鈷硫酸鈷鈷中間品氧化鈷碳酸鈷三元前驅體三元材料鈷酸鋰三元正極材料錳錳礦電解錳電池級硫酸錳鋰電正極三元前驅體磷酸鐵四氧化三鈷鋰電負極石油焦煅燒焦針狀焦瀝青焦包覆瀝青炭黑增炭劑光伏材料多晶硅硅片電池片光伏組件光伏玻璃工業(yè)硅隔膜隔膜電解液電解液

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華東	上海上海保稅區(qū)江蘇南京無錫徐州常州蘇州南通連云港淮安鹽城揚州鎮(zhèn)江泰州宿遷南京港宜興浙江杭州寧波溫州紹興湖州嘉興金華衢州臺州麗水舟山安徽合肥蕪湖蚌埠淮南馬鞍山淮北銅陵安慶黃山阜陽宿州滁州六安宣城池州亳州福建福州廈門漳州泉州三明莆田南平龍巖寧德江西南昌九江上饒撫州宜春吉安贛州景德鎮(zhèn)萍鄉(xiāng)新余鷹潭山東濟南青島淄博棗莊東營煙臺濰坊濟寧泰安威海日照濱州德州聊城臨沂菏澤萊州港龍口港黃島前灣港董家口港日照港青島港威海港煙臺港鄒平萊蕪
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大規(guī)模小像元銦鎵砷焦平面探測器制備方法

902 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 07:29:11

本發(fā)明公開了一種大規(guī)模小像元銦鎵砷焦平面探測器制備方法，具體步驟如下：1)淀積氮化硅擴散掩膜，2)開擴散窗口，3)閉管擴散，4)生長P電極，5)快速熱退火，6)開N槽，7)淀積氮化硅鈍化膜，8)開P、N電極孔，9)生長加厚電極，10)金屬化，11)生長銦柱。本發(fā)明的優(yōu)點在于：1、制備工藝更簡單，首先生長P區(qū)電極的工藝方法，降低光刻偏差和過刻蝕可能導致的P區(qū)電極與N區(qū)InP材料之間的導通風險；2、引入感應耦合等離子體化學氣相沉積(ICPCVD)技術生長低溫氮化硅鈍化膜，芯片的表面鈍化層結構致密，降低工藝過程對材料表面造成的損傷，改善表面鈍化效果；3、金屬化區(qū)域和銦柱區(qū)域一體化光刻生長技術，降低器件的接觸電阻。

聲明：

“大規(guī)模小像元銦鎵砷焦平面探測器制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)