本發(fā)明屬于半導(dǎo)體薄膜技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種BiOCl二維材料的制備方法。該方法選擇氯化鉍作為鉍源,并在距離鉍源一定位置放置襯底,在氬氣和氧氣的混合氣中對所述鉍源進(jìn)行加熱處理后,冷卻至室溫,以得到BiOCl二維材料。本發(fā)明采用化學(xué)氣相沉積法為制備方法,該制備方法工藝簡單、成本低廉,可以獲得單一相的BiOCl二維材料。
聲明:
“BiOCl二維材料及BiOCl光電探測器的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)