本發(fā)明是檢測乙醇和二氧化氮雙敏薄膜氣體傳 感器。主要應(yīng)用在汽車電子化、環(huán)境污染和氣體分析 等領(lǐng)域。采用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積技術(shù),制備 Fe2O3TiO2-SnO2復(fù)合薄膜敏感材料,其元件結(jié)構(gòu) 為旁熱式,氣體最低檢出濃度為5ppm以下。它具有 靈敏度高、響應(yīng)快、恢復(fù)時間短和易進(jìn)行大批量生產(chǎn) 等特點。
聲明:
“乙醇、二氧化氮雙敏薄膜氣體傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)