本發(fā)明屬于半導(dǎo)體涂膠顯影機(jī)技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種涂膠顯影機(jī)廢液排液裝置,包括過濾器、排液管路以及排液檢測部,其中排液檢測部用于檢測并實(shí)時(shí)顯示排液管路中是否有所述化學(xué)品流動(dòng)。本發(fā)明能夠使相應(yīng)人員實(shí)時(shí)監(jiān)控過濾器排液管路中是否有化學(xué)品流動(dòng),時(shí)時(shí)提醒相關(guān)人員排液閥是否關(guān)閉或損壞,避免因?yàn)槲搓P(guān)閉排液管路所引起的化學(xué)品外泄造成污染。
聲明:
“涂膠顯影機(jī)廢液排液裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)