一種藥劑監(jiān)控裝置,包括支架;藥液槽,用于盛裝藥劑,藥液槽設(shè)于支架上,藥液槽設(shè)有出液口和回液口;藥液循環(huán)泵,其入口端通過導(dǎo)管與藥液槽的出液口連接,藥液循環(huán)泵的出口端通過導(dǎo)管與藥液槽的回液口連接,用于抽取藥液槽中的藥劑使藥劑流動(dòng)循環(huán);傳感器組,用于檢測(cè)藥劑的物理化學(xué)特性參數(shù);顯示與控制模塊,其分別與藥液循環(huán)泵、傳感器組電連接,用于控制藥液循環(huán)泵、傳感器組啟動(dòng)和關(guān)閉,還用于獲取傳感器組檢測(cè)到的物理化學(xué)特性參數(shù)并顯示該參數(shù)。由于通過設(shè)置傳感器組,可以實(shí)時(shí)檢測(cè)藥劑的溫度、濃度、PH值等物理化學(xué)特性參數(shù),使得工作人員可以根據(jù)這些參數(shù)進(jìn)行針對(duì)性的操作,提高掩膜版后處理的效果。
聲明:
“藥劑監(jiān)控裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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