本發(fā)明涉及敏感技術(shù)領(lǐng)域,特別是一種制備酒敏 薄膜的方法。該方法是用等離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相淀 積法制備氧化鐵酒敏薄膜,其關(guān)鍵是參加化學(xué)氣相淀 積反應(yīng)的源物質(zhì)采用了金屬有機(jī)化合物五羰基鐵[Fe (CO)5]。用此方法制備的氧化鐵酒敏薄膜,在 1000ppm濃度下的乙醇?xì)怏w中,靈敏度可達(dá)50,而在 同樣濃度的城市煤氣,氫氣和液化石油氣等雜氣氣氛 下,其靈敏度分別僅有1.4,2.9和6,而且對(duì)于酒精的 最低檢測(cè)濃度可達(dá)到1ppm以下。具有靈敏度高,選 擇性好,響應(yīng)恢復(fù)時(shí)間快等優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
“制備氧化鐵酒敏薄膜的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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