摻磷非晶金剛石薄膜電極及其制備方法,它涉及一種非晶金剛石薄膜電極及其制備方法。它為了解決非晶金剛石薄膜導(dǎo)電性能差,內(nèi)應(yīng)力大,與基底粘結(jié)力差的問(wèn)題。通過(guò)以下步驟實(shí)現(xiàn):(一)基底清洗;(二)離子刻蝕;(三)通摻雜氣體;(四)利用過(guò)濾陰極真空電弧沉積系統(tǒng)進(jìn)行薄膜沉積;(五)導(dǎo)線(xiàn)連接;(六)
電化學(xué)處理,得到摻磷非晶金剛石薄膜電極。摻磷非晶金剛石薄膜電極與MEMS體系相容,適于制成大面積電極用于
污水處理,也適于制成微電極用于體內(nèi)在線(xiàn)檢測(cè),并且具有經(jīng)濟(jì)、適用、易于產(chǎn)業(yè)化的特點(diǎn)。
聲明:
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