本發(fā)明涉及一種超高純氣體純化裝置及純化方法,屬于氣體純化技術(shù)領(lǐng)域。該裝置包括加熱器、催化氧化器、水冷卻器、第一高效脫氧器、第二高效脫氧器和分子篩吸附器等結(jié)構(gòu),原料氣首先進(jìn)入加熱器加熱,然后進(jìn)入催化氧化器中催化氧化,之后經(jīng)催化氧化的氣體進(jìn)入水冷卻器中與冷卻水進(jìn)行熱交換,接著進(jìn)入第一高效脫氧器或第二高效脫氧器脫除氧氣,然后進(jìn)入分子篩吸附器中吸附,最后進(jìn)行檢測(cè),如果檢測(cè)合格,則得到超高純氣體,本發(fā)明結(jié)合催化氧化、化學(xué)反應(yīng)、物理吸附三種原理,深度純化原料氣體,除去普通氣體中的C5以上烴類組分,達(dá)到超高純級(jí)別,滿足特殊儀器的用途,實(shí)現(xiàn)了超高純氣體的批量化生產(chǎn),提升凈化效率,增加超高純氣體的產(chǎn)量。
聲明:
“超高純氣體純化裝置及純化方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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