本發(fā)明屬于
光伏行業(yè)用石英部件表面處理的技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種LPCVD工藝用石英制品制造丘陵?duì)畋砻娴姆椒?。本發(fā)明的制備方法包括準(zhǔn)備石英制品、清洗石英制品表面、配制酸性化學(xué)溶液、化學(xué)蝕刻、清洗石英制品表面、干燥、粗糙度檢測(cè)等步驟。本發(fā)明制備的LPCVD工藝的石英制品其表面丘陵?duì)罹鶆?,提高了硅化合物?duì)石英制品的附著性,同時(shí)不會(huì)引起沉積在石英制品上的硅化合物的剝離,減少顆粒污染,并且延長(zhǎng)石英制品使用壽命,滿足
光伏行業(yè)需求。
聲明:
“LPCVD工藝用石英制品制造丘陵?duì)畋砻娴姆椒ā?該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)