本發(fā)明為了解決某些生物化學(xué)物質(zhì)的探測問題,提出了一種微環(huán)諧振腔內(nèi)嵌FP腔的光學(xué)生化傳感
芯片,該芯片在SOI基體的單晶硅層上包含輸入/輸出直波導(dǎo)和第一諧振腔,第一諧振腔為環(huán)狀波導(dǎo)構(gòu)成的微環(huán)諧振腔,在微環(huán)諧振腔的環(huán)狀波導(dǎo)上還包含光柵FP腔,F(xiàn)P腔的光柵被刻蝕在所述微環(huán)諧振腔的環(huán)狀波導(dǎo)上。通過采用上述結(jié)構(gòu),本發(fā)明的光學(xué)生化傳感芯片在達(dá)到相同傳感性能的條件下,減小光學(xué)生化傳感芯片的體積,有利于實現(xiàn)光學(xué)生化傳感器的微型化與片上傳感系統(tǒng)??捎糜谏锎蠓肿樱ǖ鞍踪|(zhì)或者是DNA)液體樣本探測和氣體分子檢測。與其他的生化傳感芯片相比具有制作工藝標(biāo)準(zhǔn)化、便于集成化、傳感性能優(yōu)良及適用范圍廣等一系列特點。
聲明:
“微環(huán)諧振腔內(nèi)嵌FP腔的光學(xué)生化傳感芯片” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)