本發(fā)明公開一種基于倏逝波諧振的多孔硅?硅?多孔硅氣體傳感器,包括由多孔硅?硅?多孔硅組成的結(jié)構(gòu),以及在該結(jié)構(gòu)兩端進行耦合的硅棱鏡,所述多孔硅?硅?多孔硅組成的結(jié)構(gòu)通過脈沖
電化學腐蝕方法制備,其中硅的折射率nSi=3.5,光源以一定入射角度θ從硅棱鏡工作表面入射,在硅棱鏡與多孔硅層界面處發(fā)生全反射并產(chǎn)生倏逝波,若倏逝波的穿透深度大于多孔硅層厚度,則倏逝波在中間硅層內(nèi)發(fā)生全反射形成諧振腔并產(chǎn)生諧振峰,當氣體進入多孔硅中,使其折射率改變,從而產(chǎn)生諧振峰漂移來測量氣體濃度。該傳感器具有結(jié)構(gòu)簡單、高Q值和高靈敏特性,可對低濃度氣體進行精確、快速的測量,在低濃度氣體的檢測應(yīng)用中具有較高的應(yīng)用價值。
聲明:
“基于倏逝波諧振的多孔硅-硅-多孔硅氣體傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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