本發(fā)明提供一種研磨墊溫度控制方法、裝置及研磨設(shè)備,在研磨樣品之前將研磨墊的表面溫度設(shè)置為初始研磨溫度,在研磨樣品的過程中監(jiān)測研磨墊表面的溫度,而后在研磨墊表面的溫度變化值超過預(yù)設(shè)閾值時,調(diào)節(jié)研磨墊表面的溫度至初始研磨溫度,這樣,在研磨樣品之前將研磨墊的表面溫度設(shè)置為研磨樣品的最佳溫度,有利于精準(zhǔn)的控制研磨樣品的速率,而后在研磨樣品的過程中,實(shí)時檢測研磨墊表面的溫度,在研磨墊的表面溫度變化值超過預(yù)設(shè)閾值時,通過研磨控片使得研磨墊的表面溫度達(dá)到研磨樣品的最佳溫度,精確控制研磨墊的表面溫度,有利于提高化學(xué)機(jī)械研磨的穩(wěn)定性,提高研磨的效率。
聲明:
“研磨墊溫度控制方法、裝置及研磨設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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