本發(fā)明公開了一種集成有微流控系統(tǒng)的光學(xué)微納生物傳感器的制作方法,包括:清洗基片,在基片頂層上通過光刻、顯影、刻蝕等步驟制作微納平面波導(dǎo)型光學(xué)器件;在器件表面旋涂厚SU-8膠,通過對(duì)準(zhǔn)曝光、后烘、顯影等步驟得到SU-8膠微流通道;將PDMS薄片覆蓋SU8層并永久鍵合,從而實(shí)現(xiàn)了平面波導(dǎo)型微納光學(xué)器件與微流控的集成;通過進(jìn)液口注入相關(guān)試劑,完成對(duì)微環(huán)區(qū)域的化學(xué)修飾,再注入待測(cè)試劑溶液,通過觀察光功率或諧振譜的變化,從而實(shí)現(xiàn)了片上生物檢測(cè)的功能。該方法具有操作簡(jiǎn)單、可靠性高的優(yōu)點(diǎn),適用于大部分的平面波導(dǎo)型微納光學(xué)生物傳感器的微流控系統(tǒng)制作。
聲明:
“集成有微流控系統(tǒng)的光學(xué)微納生物傳感器的制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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