一種觸摸屏用ITO靶材的生產(chǎn)方法,涉及一種ITO靶材的生產(chǎn)方法,以4N級(jí)(99.99%)銦錠和分析純級(jí)結(jié)晶四氯化錫為原料,按配比計(jì)算出需要的用量,通過化學(xué)共沉淀、脫水、煅燒及球磨的現(xiàn)有工序制備In2O3 : SnO2=97 : 3(wt%)、純度≥99.99%、粒度為0.6~1.0μm的ITO粉;再對(duì)ITO粉經(jīng)冷壓成型為冷壓坯;再將冷壓坯裝在石墨模具內(nèi)置于真空-氣氛熱壓燒結(jié)爐中燒結(jié),得到ITO靶材,本發(fā)明制備的ITO靶材完整致密無內(nèi)部裂紋,本發(fā)明方法簡單,便于推廣使用。
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“觸摸屏用ITO靶材的生產(chǎn)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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