本發(fā)明提供一種微溝道橫截面為圓角矩形的玻璃基微色譜柱,在玻璃基底中的微溝道橫截面呈圓角矩形結構,這種微溝道具有均勻的“準零流速區(qū)”,可使得微色譜柱的固定相涂覆均勻,獲得對稱度較高的色譜峰,從而更加適合精確定性定量檢測;采用飛秒激光或超快激光對預設深度處的玻璃基底進行激光改性并輔助化學濕法刻蝕,可直接在玻璃基底預設深度處制備微溝道,無需采用光刻、DRIE及鍵合工藝,制備工藝步驟簡單,且玻璃本身成本低,可大大降低制造成本,更適合批量生產。
聲明:
“微溝道橫截面為圓角矩形的玻璃基微色譜柱” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)