本發(fā)明公開了一種微流控與等離子體技術(shù)耦合制備表面增強(qiáng)拉曼基底的裝置及方法，屬于拉曼光譜檢測(cè)領(lǐng)域。本裝置包括氬氣鋼瓶、質(zhì)量流量控制計(jì)、注射泵、微流控芯片、導(dǎo)電玻璃板、等離子體電源和鎮(zhèn)流器。該方法以貴金屬離子溶液為前驅(qū)體，氬氣為等離子體氣體，通過耦合微流控和大氣壓介質(zhì)阻擋放電技術(shù)實(shí)現(xiàn)了顆粒均一的貴金屬及其合金納米顆粒的制備，隨后將納米顆粒沉積到硅片表面，可得到納米顆粒呈均勻單層排列的表面拉曼增強(qiáng)基底。該方法簡(jiǎn)單高效、綠色安全、不引入其它化學(xué)試劑，且得到的表面拉曼基底靈敏度強(qiáng)、重復(fù)性高。