本發(fā)明涉及一種金屬薄膜生長(zhǎng)橢園偏振光譜實(shí)時(shí)監(jiān)控方法。采用真空鍍膜樣品臺(tái)和橢園偏振光譜實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)一體化結(jié)構(gòu)；將光釬偶合器、光釬準(zhǔn)直系統(tǒng)、小孔光攔、步進(jìn)電機(jī)、角編碼器、起偏器、檢偏器、光釬光譜儀等分別封裝在左右兩個(gè)密封盒里；采用光纖將復(fù)合光輸入到其中一個(gè)上述密封盒里，再?gòu)某錾湫】纵敵鲋本€偏振光譜束，并按給定入射角入射到樣品表面，經(jīng)反射或透射到另一個(gè)上述密封盒里，對(duì)這種攜帶著薄膜信息的反射偏振光譜束或透射偏振光譜束實(shí)時(shí)探測(cè)并實(shí)時(shí)反饋到鍍膜設(shè)備系統(tǒng)中進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控。這種橢園偏振光譜實(shí)時(shí)監(jiān)控方法適合于各種真空鍍膜系統(tǒng)如磁控濺射鍍膜系統(tǒng)和等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積鍍膜系統(tǒng)等。