一種鎢鉬合金旋轉(zhuǎn)靶材的生產(chǎn)方法,包括以下步驟:首先選取鎢粉和鉬粉并進(jìn)行混料,混料完成后裝入模具進(jìn)行壓制成坯,然后經(jīng)燒結(jié)后脫模,形成粗品,制備的粗品經(jīng)機(jī)械加工、退火處理、化學(xué)物理檢測和超聲清洗后形成靶材,配制鎢鉬噴涂粉末,將鎢鉬噴涂粉末噴涂到靶材的腔體內(nèi)形成產(chǎn)品,本發(fā)明工藝簡單,不僅大大了降低了旋轉(zhuǎn)靶材的生產(chǎn)成本,而且制備的靶材具有組織均勻晶粒細(xì)小、高耐熱沖擊等優(yōu)良性能,從而適用于大面積TFT薄膜的生產(chǎn)。
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