本發(fā)明涉及一種用于利用至少一個(gè)熱元件來相互轉(zhuǎn)換熱能和電能的熱電換能器。所述換能器具有至少一個(gè)由具有不同微柱材料的微柱組成的三維微結(jié)構(gòu)。微柱材料具有不同的塞貝克系數(shù)(熱電動(dòng)勢(shì))。相互平行布置的微柱的微柱直徑從0.1μm至200μm的范圍中選擇。這些微柱分別具有處于20至1000的范圍中的縱橫比。此外,這些微柱作為熱電偶相互耦合以構(gòu)造熱電壓。為了制造所述微結(jié)構(gòu)如下進(jìn)行:a)提供具有模板材料的模板,其中模板具有基本上與熱電換能器的微結(jié)構(gòu)相反的三維模板結(jié)構(gòu),所述模板結(jié)構(gòu)包括柱狀的模板空腔,b)將微柱材料布置在柱狀空腔中,使得形成微柱,以及c)至少部分地去除模板材料。作為模板優(yōu)選采用硅晶片。為了提供模板采用PAECE(光輔助
電化學(xué)蝕刻)方法。利用本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)針對(duì)熱輻射的高靈敏的檢測(cè)器。
聲明:
“具有三維微結(jié)構(gòu)的熱電換能器、制造該換能器的方法和該換能器的應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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