提供一種用于將化學(xué)前驅(qū)物直接液體注射(DLI)到處理腔室中的方法和設(shè)備。DLI系統(tǒng)包括液體前驅(qū)物源汽化系統(tǒng),所述系統(tǒng)穩(wěn)定并且有效地使液體汽化。在一個(gè)實(shí)施方式中,DLI系統(tǒng)是閉環(huán)集成系統(tǒng),所述閉環(huán)集成系統(tǒng)將注射閥(IV)連同液體流量計(jì)(LFM)、作為加壓前驅(qū)物源的安瓿組件、用于加壓安瓿組件中的前驅(qū)物的惰性推進(jìn)氣體、用于維持目標(biāo)溫度狀況的溫度控制器、泄漏檢測和到氣體加熱器的受控載氣流量進(jìn)行組合。
聲明:
“用于薄膜沉積的直接液體注射系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)