一種中子摻雜晶體熱處理工藝方法,它包括下述步驟:1)中子摻雜后的晶體的清洗,清洗包括:純水清洗和與混酸的化學(xué)反應(yīng)以及之后的清洗;混酸中硝酸與氫氟酸的體積比范圍為8∶1到3∶1;2)在熱處理前,在樣片的兩端放置隔離物,隨后進(jìn)行熱處理;3)將以上晶體按照一定的加熱過(guò)程進(jìn)行熱處理;4)熱處理過(guò)程結(jié)束后,對(duì)晶體進(jìn)行表面噴砂處理或研磨處理后檢驗(yàn)從而驗(yàn)證該工藝方法的效果。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是處理工藝簡(jiǎn)便,效果好,可提高熱處理后晶體的少子壽命。