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石墨烯生長爐管內(nèi)的石英管的清洗方法

1007   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:13:38
本發(fā)明涉及一種石墨烯生長爐管內(nèi)的石英管的清洗方法,包括以下步驟:步驟一,將石墨烯生長爐的爐體升溫至600-900℃并保持恒溫,同時向石墨烯生長爐內(nèi)的石英管內(nèi)通入氧氣,持續(xù)時間1-2小時;步驟二,待石墨烯生長爐的爐體內(nèi)溫度降至室溫,使用含有硝酸鐵的高嶺土擦拭石英管內(nèi)壁,直至石英管內(nèi)壁上的附著物消失;步驟三,移除石英管內(nèi)的高嶺土,使用沾取酒精的無塵布擦拭石英管整個腔體;步驟四,待石英管內(nèi)目檢無殘留物后,向石英管內(nèi)通入氮氣吹掃。本發(fā)明采用氧氣燃耗的方法,除去碳物質(zhì)殘留,利用機械摩擦以及化學試劑去除生長基底物質(zhì)殘留,不需采購專用清洗機臺,節(jié)省不菲的設(shè)備購置費,不需拆卸爐體內(nèi)石英管,節(jié)省了設(shè)備維護時間。
聲明:
“石墨烯生長爐管內(nèi)的石英管的清洗方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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