一種柔性基體薄膜鎳電阻傳感器,包括基片、附在基片上的電阻線、焊接盤,采用在耐高溫聚酰亞胺薄膜基片上,用真空蒸發(fā)NI膜的方法制得導(dǎo)電層后,再用
電化學(xué)方法加厚NI膜,用光刻方法制成電阻器圖案,經(jīng)過(guò)再次用電化學(xué)方法調(diào)整阻值、涂覆保護(hù)層、固化和老化處理、裝入相應(yīng)金屬夾持框而成。具有響應(yīng)速度快,價(jià)格低廉,制作方法簡(jiǎn)單易行,解決了批量生產(chǎn)中保持器件性能一致且穩(wěn)定可靠的問(wèn)題,尤其適用于汽車進(jìn)氣熱線式流量計(jì)和其他要求快速響應(yīng)的熱電阻測(cè)試系統(tǒng)中。
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“柔性薄膜NI電阻傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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