一種在沉積室內(nèi)生產(chǎn)金剛石的裝置,包括:用于夾持金剛石并與金剛石的鄰近于其生長面的一邊的側(cè)面熱接觸的散熱夾具;設(shè)置用來測量沿金剛石生長面的溫度的非接觸式溫度測量裝置;和用于接收來自上述非接觸式溫度測量裝置的溫度測量數(shù)據(jù)并控制生長面的溫度使沿生長面的所有溫度梯度小于20℃的總過程控制器。一種生產(chǎn)金剛石的方法,包含如下步驟:在夾具內(nèi)安置金剛石使之與金剛石的鄰近于其生長面的一邊的側(cè)面熱接觸,測量金剛石生長面的溫度并得出溫度測量數(shù)據(jù);根據(jù)上述溫度測量數(shù)據(jù)控制生長面的溫度;和在生長面上按微波等離子化學(xué)蒸氣沉積法生長單晶金剛石,其中,金剛石生長速率大于1μm/h。