用壓熱器處理多孔的、無機(jī)氧化物顆粒的淤漿,所述處理方法導(dǎo)致所述顆粒的磨損性增加,表現(xiàn)為當(dāng)按標(biāo)準(zhǔn)拋光條件進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光時(shí),被拋光基材的除去速率增加。本發(fā)明提供了具有新型磨損性的淤漿,具體地說,是以二氧化硅為基礎(chǔ)的淤漿。顆粒磨損性的增加與顆粒表面積的減少有很大關(guān)系,其中表面積由氮?dú)馕椒y(cè)定(BET法)。因此,通過采用加熱無機(jī)氧化物顆粒的淤漿使其達(dá)到某BET表面積的方法可獲得具有符合要求的磨損度的淤漿,而已經(jīng)證實(shí),BET法測(cè)定的比表面積與所需的磨損度有關(guān)。所得的淤漿可用于傳統(tǒng)的拋光機(jī)。所述方法特別適合制備以二氧化硅為基礎(chǔ)的研磨淤漿。
聲明:
“用于研磨的無機(jī)氧化物顆粒淤漿及調(diào)節(jié)所述顆粒的磨蝕性的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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