本發(fā)明公開(kāi)了一種多溫區(qū)滑軌管式爐的控制方法，包括S10、針對(duì)每個(gè)溫區(qū)，設(shè)定所述溫區(qū)的目標(biāo)溫度值；S20、對(duì)所述溫區(qū)內(nèi)的至少三個(gè)測(cè)溫點(diǎn)測(cè)溫，獲得實(shí)際溫度值集合；S30、將所述實(shí)際溫度值集合帶入三次B樣條曲線(xiàn)方程中，獲得所述溫區(qū)內(nèi)的溫度擬合曲線(xiàn)；S40、根據(jù)所述溫區(qū)內(nèi)的溫度擬合曲線(xiàn)，獲得所述溫區(qū)內(nèi)溫度最接近所述目標(biāo)溫度值的目標(biāo)位置；S50、將石英舟移動(dòng)至第一個(gè)反應(yīng)溫度對(duì)應(yīng)的溫區(qū)的所述目標(biāo)位置，通入第一種氣源，進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)；S60、當(dāng)前反應(yīng)步驟完成后，將石英舟移動(dòng)至下一個(gè)反應(yīng)溫度對(duì)應(yīng)的溫區(qū)的所述目標(biāo)位置，通入下一種氣源，進(jìn)行下一步的化學(xué)反應(yīng)。本發(fā)明既能夠?yàn)閷?shí)驗(yàn)者提供最準(zhǔn)確的溫度參數(shù)，又提供了良好的實(shí)驗(yàn)重復(fù)性。