本發(fā)明涉及一種防止高純氣體生產(chǎn)裝置不需要的停機的系統(tǒng)。本發(fā)明提供了一種新型故障-安全溫度監(jiān)測系統(tǒng),該系統(tǒng)可區(qū)分過高的化學(xué)吸附劑溫度和溫度傳感組件故障。該系統(tǒng)防止了氣體純化器由于溫度傳感組件故障而停機,從而防止了高純氣體生產(chǎn)設(shè)備的錯誤停機。
聲明:
“防止高純氣體生產(chǎn)裝置不需要的停機的系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)