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壓電驅式微混合芯片

764 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 08:20:17

一種微電子技術領域的壓電驅動的微混合芯片,包括:密封蓋層、通道層、壓電控制器,密封蓋層與通道層通過離子鍵合技術或者熱鍵合技術密封在一起,密封蓋層上側設有三個壓電控制器安裝槽,壓電控制器以粘貼方式嵌入密封蓋層上側的三個壓電控制器安裝槽內,通道層上設有循環(huán)流體通道;所述的三個壓電控制器通過邏輯順序作用于其下通道層循環(huán)流體通道,循環(huán)流體通道按照順序開啟、閉合,通過這種邏輯開關順序,形成片上蠕動泵。本發(fā)明結合了通道式混合器和微腔混合器的特點,使不同試劑間的擴散和主動對流得到加強,從而提升混合效率,可以廣泛用于生物試劑、化學試劑濃度和組分的實時測定,對于預防醫(yī)學、環(huán)境水源監(jiān)控都具有很強的實用價值。

聲明：

“壓電驅式微混合芯片” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)