本發(fā)明是一種金剛石紅外增透濾光窗口及其制 備方法。目前金剛石薄膜窗口透光波段的研究及應(yīng)用局限在 2.5—25μm范圍, 使用中受到限制。本發(fā)明用電子束輔助熱燈 絲化學(xué)氣相沉積方法; 兩步法高密度成核金剛石優(yōu)化生長(zhǎng)工藝 多光束干涉法薄膜厚度監(jiān)控, 克服了光在近紅外波段的散射問 題, 研制成功具有光學(xué)鏡面級(jí)表面的金剛石薄膜, 制得的窗口用 于近紅外(1.1—1.8μ)探測(cè)器, 靈敏可靠, 抗高溫, 抗腐蝕, 抗水, 抗 塵, 堅(jiān)硬耐磨, 維護(hù)方便。
聲明:
“金剛石紅外增透濾光窗口及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)