本發(fā)明涉及一種三元系弛豫鐵電薄膜材料及其制備和應(yīng)用，材料的化學(xué)組成為(1?x?y)Pb(In_1/2Nb_1/2)O₃?yPb(Mg_1/3Nb_2/3)O₃?xPbTiO₃?zMn，其中x＝0.20～0.40，y＝0.18～0.60，z＝0.003～0.03，包括以下步驟：(a)將MnO₂、In₂O₃、Nb₂O₅、MgO、PbO和TiO₂混合，后依次進(jìn)行球磨、烘干、過篩、預(yù)燒、造粒、壓片和燒結(jié)，得到Mn?PIN?PMN?PT陶瓷靶材；(b)將SrTiO₃單晶依次置于丙酮、乙醇和去離子水中進(jìn)行超聲洗滌，后干燥，得到襯底；(c)以激光濺射的方式，將SrRuO₃陶瓷靶在襯底上進(jìn)行沉積處理，后進(jìn)行退火處理，得到底電極；(d)以激光濺射的方式，將Mn?PIN?PMN?PT陶瓷靶材在底電極有上進(jìn)行沉積處理，后進(jìn)行退火處理，得到薄膜材料。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的薄膜具有純鈣鈦礦結(jié)構(gòu)，且具有優(yōu)異的鐵電和壓電性能，以及較高的居里溫度和三方?四方相變溫度。