本發(fā)明公開了一種生產(chǎn)大尺寸、高均勻性合成石英玻璃砣的方法,該方法采用化學(xué)氣相沉積工藝,即向多個(gè)燃燒器中通入氫氣和氧氣,氫氣和氧氣在燃燒器中燃燒進(jìn)而對(duì)沉積爐爐腔進(jìn)行預(yù)熱;預(yù)熱完成后,將沉積爐內(nèi)石英基板的溫度升高至指定溫度,同時(shí)啟動(dòng)溫度探測(cè)器使其開始工作;通過(guò)每個(gè)燃燒器的下料管向沉積爐內(nèi)通入氣態(tài)含硅化合物,氫氣和氧氣在燃燒器中燃燒產(chǎn)生水蒸汽,該水蒸汽與氣態(tài)含硅化合物在沉積爐內(nèi)反應(yīng)生成二氧化硅顆粒;二氧化硅顆粒在轉(zhuǎn)動(dòng)的石英基板上逐漸沉積形成石英玻璃坨,且所述溫度探測(cè)器動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)二氧化硅顆粒沉積面的溫度分布;本發(fā)明通過(guò)增加燃燒器及沉積面溫度測(cè)試保證沉積面溫度的均勻性,從而保證石英玻璃的結(jié)構(gòu)均勻性。
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