提供了基于MEMS的量熱計(jì),該量熱計(jì)包括在聚合層上形成的薄膜基板中支撐的兩個(gè)微腔室。該薄膜基板包括配置為測(cè)量這兩個(gè)微腔室之間的溫度差的熱電傳感器,并且也包括熱穩(wěn)定和高強(qiáng)度的聚合物膜片。也提供了用于制造該基于MEMS的量熱計(jì)的方法,以及利用該量熱計(jì)來測(cè)量諸如生物分子的材料的熱性質(zhì),或者化學(xué)反應(yīng)或物理相互作用的熱力學(xué)性質(zhì)的方法。
聲明:
“基于MEMS的量熱計(jì)及其制造和使用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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