本實(shí)用新型公開(kāi)了一種基于微機(jī)電系統(tǒng)的垂直探針,包括探針主體,所述探針主體包括第一端部、第二端部,以及位于第一端部、第二端部之間,分別與第一端部、第二端部相連的彈性連接部,所述第一端部、第二端部、彈性連接部為一體結(jié)構(gòu),所述彈性連接部與所述第二端部形成連續(xù)的半圓弧狀結(jié)構(gòu),所述探針主體采用光化學(xué)蝕刻制作而成。本實(shí)用新型的垂直探針的尺寸誤差較小,產(chǎn)品的一致性較好,從而避免了在測(cè)試過(guò)程中由于尺寸誤差導(dǎo)致的測(cè)試誤差。
聲明:
“基于微機(jī)電系統(tǒng)的垂直探針” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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