本實用新型公開了一種并行光纖收發(fā)模塊,它包括一個激光器陣列、一個光探測器陣列、一個驅動電路板和一個二維光纖陣列,激光器陣列和光探測器陣列在驅動電路板上貼裝成兩列,分別與光纖陣列中的兩列光纖對準耦合,并以膠水固定,二維光纖陣列基于一個雙面刻蝕的定位基片制作,本實用新型產生的有益效果是:通過微電子工藝中的雙面曝光技術,在一片石英玻璃的兩面制作掩模圖形,然后通過化學腐蝕工藝刻蝕出高精度的光纖定位槽陣列。微電子工藝中的雙面曝光光刻機,可以保證同一面中掩模圖形具有較高的定位精度,滿足并行光纖收發(fā)模塊中的技術要求。
聲明:
“并行光纖收發(fā)模塊” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)