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環(huán)形光式暗場共焦亞表面無損檢測裝置和方法

1049 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 08:57:49

本發(fā)明提供一種環(huán)形光式暗場共焦亞表面無損檢測裝置和方法，屬于光學精密測量技術領域。點光源發(fā)出的光依次經過準直鏡、環(huán)形光發(fā)生器、分光棱鏡和物鏡，物鏡將激光匯聚至待測樣品，載有待測樣品信息的反射光和散射光依次經過物鏡和分光棱鏡，入射至探測互補光闌，反射光被探測互補光闌遮擋，散射光依次經過探測互補光闌、收集透鏡和探測針孔，最終入射至光電探測器，從而完成對亞表面的檢測。本發(fā)明采用環(huán)形光束照明，結合探測互補光闌實現(xiàn)暗場共焦，解決了普通共焦顯微技術檢測亞表面損傷信噪比低的問題，適用于亞表面無損檢測。

聲明：

“環(huán)形光式暗場共焦亞表面無損檢測裝置和方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)