本發(fā)明公開(kāi)一種大曲率微小件表面多層金屬薄膜的無(wú)損檢測(cè)方法,包括以下步驟:S1:采用同步輻射X射線微束技術(shù)對(duì)樣品進(jìn)行檢測(cè);S2:采用切入射方法獲得表面金屬膜層的衍射信號(hào),通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)樣品,使樣品與入射X射線相切,入射X射線與樣品表面夾角趨近于0°,進(jìn)而獲得表面金屬膜層的衍射信號(hào);S3:采用掠入射方法獲得中間金屬膜層的衍射信號(hào),通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)樣品,使樣品中間層與入射X射線形成夾角,夾角小于5°,進(jìn)而獲得中間層金屬薄膜鍍層的衍射信號(hào);S4:采用透射方法對(duì)衍射信號(hào)進(jìn)行校準(zhǔn),此時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)樣品,使X射線水平穿透2層復(fù)合鍍層,從而獲得2套衍射信號(hào)以輔助校準(zhǔn);采用具有高亮度的同步輻射光源和同步輻射微束技術(shù)獲得微米級(jí)的空間分辨率。
聲明:
“大曲率微小件表面多層金屬薄膜的無(wú)損檢測(cè)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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