本發(fā)明公開了一種藍(lán)寶石微缺陷無損檢測裝置,該裝置中激光器、分光鏡和藍(lán)寶石樣品固定在光路直線導(dǎo)軌上的同一個水平面上;激光器發(fā)出的激光經(jīng)分光鏡分成兩路:參考光和入射光,高清CCD1采集參考光信號傳輸?shù)接嬎銠C;入射光照射藍(lán)寶石樣品后分為透射光和散射光,高清CCD2采集透射光信號傳輸?shù)接嬎銠C,高清CCD3采集散射光信號傳輸?shù)接嬎銠C,同步觸發(fā)器使高清CCD1和高清CCD2同步對參考光和透射光進(jìn)行采集。本發(fā)明對藍(lán)寶石微/納米級缺陷進(jìn)行檢測同,不受樣品形狀、尺寸的影響,可以在線檢測、靈敏度高、重復(fù)性好、測量結(jié)果精確,不受衍射極限的限制,能分析由缺陷引起對應(yīng)脈沖信號的衰減,便于標(biāo)準(zhǔn)化處理。
聲明:
“藍(lán)寶石微缺陷無損檢測裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)