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基于Welch法譜估計的超薄涂層厚度均勻性無損檢測方法

829   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:57:55
本文提出一種基于Welch法譜估計的超薄涂層厚度均勻性無損檢測方法。該方法利用超聲顯微鏡系統(tǒng)進行全波采集,對于每一個掃查點獲取的涂層上表面反射回波以及涂層下表面n次反射回波所混疊的超聲A掃信號,利用聚焦探頭的脈沖持續(xù)時間去除A掃信號中的涂層上表面回波信號,得到涂層下表面n次反射回波的信號,聲束反射透射傳播原理如附圖所示。然后對n次反射回波信號進行Welch法譜估計,在Welch功率譜上讀取各個極大值對應(yīng)的頻率,結(jié)合涂層的聲速計算得到涂層的厚度,并將厚度值轉(zhuǎn)換成對應(yīng)的顏色來表征。最后依次計算得到各掃描點的厚度值,并用對應(yīng)顏色表示,便可形成用于涂層厚度均勻性的評估C掃描成像圖。該方法簡單實用,測量速度快,適用于涂層的現(xiàn)場測量。
聲明:
“基于Welch法譜估計的超薄涂層厚度均勻性無損檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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