本公開涉及一種基于拉曼分析的無損高深寬比結(jié)構(gòu)的測量裝置及方法,該裝置包括:激光光源發(fā)射出激光光束;聚光部件使激光光束聚焦于可動載物臺上方且使得聚光部件的焦平面位于初始位置,并在測量過程中控制焦平面從初始位置移動到待測孔的底面;可動載物臺承載待測樣品且能夠在與光路主軸垂直的平面移動,待測樣品中待測孔的軸向與光路主軸平行且待測孔處于與激光光束的聚焦區(qū)域?qū)奈恢茫惶綔y模塊對入射的待測樣品返回的拉曼散射信號進行采集,并根據(jù)采集結(jié)果確定出待測孔的結(jié)構(gòu)參數(shù)。可對高深寬比結(jié)構(gòu)進行快速無損測量,有助于高效評估加工質(zhì)量和微結(jié)構(gòu)特征,為提高工藝良率、優(yōu)化工藝條件提供依據(jù)。
聲明:
“基于拉曼分析的無損高深寬比結(jié)構(gòu)的測量裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)