透明聚合物材料微器件鍵合封裝質(zhì)量檢測(cè)裝置及檢測(cè)方法,是基于生物可降解材料PLGA等這類(lèi)透明聚合物良好的可見(jiàn)光透射性能而提出的——可見(jiàn)光透射檢測(cè)法,檢測(cè)原理是基于光垂直入射材料鍵合部位時(shí)光在不同鍵合質(zhì)量情況下反射情況的不同從而引起透射光強(qiáng)的不同,從而可由此原理通過(guò)透射圖像的處理判斷透明聚合物材料微器件的鍵合質(zhì)量,設(shè)計(jì)了有效的可見(jiàn)光透射圖像采集設(shè)備并進(jìn)行有效的圖像處理。此種方法能有效檢測(cè)這種特殊透明聚合物材料的微器件結(jié)構(gòu)鍵合封裝質(zhì)量,是一種高效的無(wú)損檢測(cè)方法,設(shè)備簡(jiǎn)單,依據(jù)此方案能設(shè)計(jì)有效的檢測(cè)設(shè)備,并利于在線檢測(cè)的實(shí)現(xiàn)。
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